{"product_id":"nv-pisco-423110-1","title":"PISCO Vacuum Generator VG Type (Part 1)","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePISCO VG\u003c\/strong\u003e — Vacuum Generator VG Type, genuine PISCO product.\u003c\/p\u003e\u003ch3\u003eOverview\u003c\/h3\u003e\u003cp\u003ePISCO vacuum pads, pad holders, vacuum ejectors and vacuum accessories for pick-and-place handling.\u003c\/p\u003e\u003ch3\u003eKey Features\u003c\/h3\u003e\u003cul\u003e\n\u003cli\u003eGenuine PISCO vacuum component\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003eSelect by pad diameter, material and mounting\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003eWide range of buffers and fittings\u003c\/li\u003e\n\u003c\/ul\u003e\u003ch3\u003eSpecifications\u003c\/h3\u003e\u003ctable\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003cth\u003ePart No.\u003c\/th\u003e\n\u003cth\u003eLubricated\u003c\/th\u003e\n\u003cth\u003ePower Consumption (mA)\u003c\/th\u003e\n\u003cth\u003eOperating Humidity Range\u003c\/th\u003e\n\u003cth\u003eOperating Pressure Range\u003c\/th\u003e\n\u003cth\u003ePower Supply\u003c\/th\u003e\n\u003cth\u003ePerformance\u003c\/th\u003e\n\u003cth\u003eVoltage (V)\u003c\/th\u003e\n\u003cth\u003eNozzle Dia.\u003c\/th\u003e\n\u003cth\u003eOperating Temperature Range (℃)\u003c\/th\u003e\n\u003cth\u003eFluid\u003c\/th\u003e\n\u003cth\u003eProof Pressure (kPa)\u003c\/th\u003e\n\u003cth\u003eSuction Flow (L\/min)\u003c\/th\u003e\n\u003cth\u003eDurability\u003c\/th\u003e\n\u003cth\u003eVacuum Level (kPa)\u003c\/th\u003e\n\u003cth\u003eAir Supply Port Size P\u003c\/th\u003e\n\u003cth\u003eOutput Spec\u003c\/th\u003e\n\u003cth\u003eUnit Shape\u003c\/th\u003e\n\u003cth\u003eConnector Type\u003c\/th\u003e\n\u003cth\u003eVacuum Port Size V\u003c\/th\u003e\n\u003cth\u003eSensor\u003c\/th\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE07A-66\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eLow Supply Pressure High Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.35MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.7\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10.5\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-90.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE07B-66-A\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e15 or less (output current 0mA, 24VDC supply)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-90.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e- 1 Analog Output\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, Analog Output Only\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE07B-66-NA\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e17 or less (1 switch ON, 24VDC supply)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eLow Supply Pressure High Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.35MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.7\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10.5\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-90.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE07B-66-NW\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.7\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1,00\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-90.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e2 Switch Outputs -\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, 2-Point Switch Output\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE07E-66-AC100L\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ AC100\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.7\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10.5\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-90.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eTop Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE07E-66-AC100S\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eLow Supply Pressure High Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.35MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ AC100\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.7\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10.5\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-90.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE07E-66-DC24L\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eLow Supply Pressure High Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.35MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ DC24\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10.5\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-90.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eTop Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE07E-66-DC24S\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eLow Supply Pressure High Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.35MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.7\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10.5\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-90.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eSide Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE07F-46-DC24S-NA\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e17 or less (1 switch ON)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-90.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1 Switch Output + 1 Analog Output\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eSide Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ4\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE07F-66-AC100L-A\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e15 or less (output current 0mA, 24VDC supply)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.7\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10.5\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-90.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e- 1 Analog Output\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eTop Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE07F-66-AC100L-NA\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.7\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1 Switch Output + 1 Analog Output\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, 1 Analog + 1 Switch Output\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE07F-66-AC100L-NW\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e25 or less (2 switches ON)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eLow Supply Pressure High Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.35MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ AC100V\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10.5\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, 2-Point Switch Output\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE07F-66-AC100S-A\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e15 or less (output current 0mA, 24VDC supply)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eLow Supply Pressure High Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.35MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-90.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e- 1 Analog Output\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, Analog Output Only\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE07F-66-AC100S-NA\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eLow Supply Pressure High Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.35MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-90.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eSide Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE07F-66-AC100S-NW\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eLow Supply Pressure High Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.35MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.7\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10.5\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eSide Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE07F-66-DC24L-A\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e15 or less (output current 0mA, 24VDC supply)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ DC24V\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.7\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eTop Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE07F-66-DC24L-NA\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ DC24V\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.7\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-90.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1 Switch Output + 1 Analog Output\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, 1 Analog + 1 Switch Output\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE07F-66-DC24L-NW\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ DC24V\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.7\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-90.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e2 Switch Outputs -\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, 2-Point Switch Output\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE07F-66-DC24S-A\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eLow Supply Pressure High Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.35MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ DC24V\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.7\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-90.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE07F-66-DC24S-NA\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e17 or less (1 switch ON)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ DC24V\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.7\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10.5\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eSide Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, 1 Analog + 1 Switch Output\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE07F-66-DC24S-NW\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e25 or less (2 switches ON)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ DC24V\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.7\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eSide Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, 2-Point Switch Output\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE10A-66\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eLow Supply Pressure High Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.35MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e21.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-92.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE10B-66-A\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e15 or less (output current 0mA, 24VDC supply)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eLow Supply Pressure High Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.35MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e21.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-92.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e- 1 Analog Output\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, Analog Output Only\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE10B-66-NA\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e17 or less (1 switch ON)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eLow Supply Pressure High Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.35MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-92.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, 1 Analog + 1 Switch Output\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE10B-66-NW\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e25 or less (2 switches ON)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e21.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-92.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e2 Switch Outputs -\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, 2-Point Switch Output\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE10E-66-AC100L\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eLow Supply Pressure High Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.35MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ AC100\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e21.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-92.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eTop Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE10E-66-AC100S\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eLow Supply Pressure High Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.35MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ AC100\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e21.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-92.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eSide Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE10E-66-DC24L\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eLow Supply Pressure High Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.35MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ DC24\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e21.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-92.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eTop Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE10E-66-DC24S\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eLow Supply Pressure High Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.35MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ DC24\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e21.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-92.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eSide Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE10F-66-AC100L-A\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e15 or less (output current 0mA, 24VDC supply)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ AC100V\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e21.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-92.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e- 1 Analog Output\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE10F-66-AC100L-NA\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e17 or less (1 switch ON)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ AC100V\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e21.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1 Switch Output + 1 Analog Output\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eTop Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE10F-66-AC100L-NW\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ AC100V\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, 2-Point Switch Output\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE10F-66-AC100S-A\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ AC100V\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e21.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e- 1 Analog Output\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, Analog Output Only\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE10F-66-AC100S-NA\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eLow Supply Pressure High Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.35MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e21.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-92.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE10F-66-AC100S-NW\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e25 or less (2 switches ON)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ AC100V\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e21.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-92.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eSide Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE10F-66-DC24L-A\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eLow Supply Pressure High Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.35MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-92.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e- 1 Analog Output\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eTop Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE10F-66-DC24L-NA\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ DC24V\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-92.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1 Switch Output + 1 Analog Output\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eTop Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, 1 Analog + 1 Switch Output\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE10F-66-DC24L-NW\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e25 or less (2 switches ON)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eLow Supply Pressure High Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.35MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ DC24V\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, 2-Point Switch Output\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE10F-66-DC24S-A\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e15 or less (output current 0mA, 24VDC supply)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-92.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e- 1 Analog Output\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eSide Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE10F-66-DC24S-NA\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e17 or less (1 switch ON)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eLow Supply Pressure High Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.35MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-92.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGE10F-66-DC24S-NW\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eLow Supply Pressure High Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.35MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e21.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-92.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eSide Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH05A-44\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.5\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e7.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-90.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ4\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ4\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH05B-44-A\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e15 or less (output current 0mA, 24VDC supply)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-90.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ4\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e- 1 Analog Output\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, Analog Output Only\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH05B-44-NA\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.5\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e7.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ4\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1 Switch Output + 1 Analog Output\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ4\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, 1 Analog + 1 Switch Output\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH05B-44-NW\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.5\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e2 Switch Outputs -\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ4\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH05E-44-AC100L\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ AC100\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.5\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e7.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-90.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ4\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eTop Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ4\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH05E-44-AC100S\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ AC100\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.5\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-90.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ4\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eSide Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ4\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH05E-44-DC24L\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ DC24\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.5\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e7.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-90.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ4\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ4\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH05E-44-DC24S\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ DC24\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.5\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e7.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-90.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ4\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eSide Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ4\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH05F-44-AC100L-A\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e15 or less (output current 0mA, 24VDC supply)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.5\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e7.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e- 1 Analog Output\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eTop Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, Analog Output Only\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH05F-44-AC100L-NA\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ AC100V\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.5\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e7.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-90.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ4\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eTop Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, 1 Analog + 1 Switch Output\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH05F-44-AC100L-NW\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ4\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH05F-44-AC100S-A\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e15 or less (output current 0mA, 24VDC supply)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ4\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eSide Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ4\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH05F-44-AC100S-NA\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ AC100V\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.5\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e7.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ4\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, 1 Analog + 1 Switch Output\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH05F-44-AC100S-NW\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e25 or less (2 switches ON)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.5\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-90.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ4\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eSide Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ4\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH05F-44-DC24L-A\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e15 or less (output current 0mA, 24VDC supply)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e7.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ4\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e- 1 Analog Output\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eTop Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH05F-44-DC24L-NA\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e17 or less (1 switch ON)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ DC24V\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.5\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-90.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ4\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ4\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, 1 Analog + 1 Switch Output\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH05F-44-DC24L-NW\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e25 or less (2 switches ON)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ DC24V\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-90.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ4\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eTop Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH05F-44-DC24S-A\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.5\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e7.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-90.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e- 1 Analog Output\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ4\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH05F-44-DC24S-NA\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.5\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e7.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH05F-44-DC24S-NW\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e25 or less (2 switches ON)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ DC24V\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.5\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ4\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eSide Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, 2-Point Switch Output\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH07A-66\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.7\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e13.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-93.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH07B-66-A\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e15 or less (output current 0mA, 24VDC supply)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e13.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH07B-66-NA\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e17 or less (1 switch ON)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.7\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e13.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1 Switch Output + 1 Analog Output\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, 1 Analog + 1 Switch Output\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH07B-66-NW\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.7\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH07E-66-AC100L\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ AC100\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.7\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e13.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-93.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eTop Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH07E-66-AC100S\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ AC100\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.7\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e13.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-93.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eSide Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH07E-66-DC24S\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ DC24\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.7\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-93.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eSide Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH07F-66-AC100L-A\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e15 or less (output current 0mA, 24VDC supply)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ AC100V\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.7\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e13.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-93.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eTop Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, Analog Output Only\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH07F-66-AC100L-NA\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e17 or less (1 switch ON)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ AC100V\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e13.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1 Switch Output + 1 Analog Output\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, 1 Analog + 1 Switch Output\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH07F-66-AC100L-NW\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ AC100V\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.7\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e13.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-93.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e2 Switch Outputs -\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eTop Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH07F-66-AC100S-A\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ AC100V\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.7\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e13.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e- 1 Analog Output\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, Analog Output Only\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH07F-66-AC100S-NA\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e17 or less (1 switch ON)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.7\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH07F-66-AC100S-NW\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e25 or less (2 switches ON)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.7\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH07F-66-DC24L-A\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e15 or less (output current 0mA, 24VDC supply)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ DC24V\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.7\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e- 1 Analog Output\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eTop Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH07F-66-DC24L-NA\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e17 or less (1 switch ON)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e13.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, 1 Analog + 1 Switch Output\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH07F-66-DC24L-NW\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ DC24V\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-93.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e2 Switch Outputs -\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, 2-Point Switch Output\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH07F-66-DC24S-A\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.7\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e13.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, Analog Output Only\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH07F-66-DC24S-NA\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e17 or less (1 switch ON)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ DC24V\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-93.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, 1 Analog + 1 Switch Output\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH07F-66-DC24S-NW\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eSide Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH10A-66\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e27.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-93.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH10B-66-A\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e15 or less (output current 0mA, 24VDC supply)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e27.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-93.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH10B-66-NA\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e27.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, 1 Analog + 1 Switch Output\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH10B-66-NW\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e25 or less (2 switches ON)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e27.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-93.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH10E-66-AC100L\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ AC100\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e27.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-93.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eTop Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH10E-66-AC100S\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ AC100\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e27.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-93.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eSide Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH10E-66-DC24L\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ DC24\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e27.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-93.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eTop Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH10E-66-DC24S\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ DC24\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e27.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-93.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eSide Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH10F-66-AC100L-A\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e15 or less (output current 0mA, 24VDC supply)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ AC100V\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e27.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eTop Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH10F-66-AC100L-NA\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e17 or less (1 switch ON)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e27.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1 Switch Output + 1 Analog Output\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, 1 Analog + 1 Switch Output\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH10F-66-AC100L-NW\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ AC100V\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-93.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e2 Switch Outputs -\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH10F-66-AC100S-A\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e27.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e- 1 Analog Output\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, Analog Output Only\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH10F-66-AC100S-NA\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1 Switch Output + 1 Analog Output\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, 1 Analog + 1 Switch Output\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH10F-66-AC100S-NW\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e27.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-93.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e2 Switch Outputs -\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH10F-66-DC24L-A\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e15 or less (output current 0mA, 24VDC supply)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e-93.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eTop Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, Analog Output Only\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH10F-66-DC24L-NA\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ DC24V\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e27.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1 Switch Output + 1 Analog Output\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eTop Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, 1 Analog + 1 Switch Output\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH10F-66-DC24L-NW\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e25 or less (2 switches ON)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eValve Unit \/ DC24V\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e200.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e2 Switch Outputs -\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eTop Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eVacuum Switch, 2-Point Switch Output\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH10F-66-DC24S-A\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e15 or less (output current 0mA, 24VDC supply)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e5 ~ 50; Vacuum Switch: 0 ~ 50\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eAir; Vacuum Switch: Air, Inert Gas\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e27.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e- 1 Analog Output\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFilter, Vacuum Switch, Supply Valve, Vacuum Release Valve\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eSide Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH10F-66-DC24S-NA\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e17 or less (1 switch ON)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e35 ~ 85 % RH\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e0.25 ~ 0.7MPa; Vacuum Switch: 0 ~ -100kPa\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eDC12 ~ 24V ± 10 %, ripple 10 % (P-P) or less\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eHigh Vacuum Type (Rated Supply Pressure: 0.5MPa)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e1.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e27.0\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e10 million cycles (0 to rated pressure)\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eSide Port\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eØ6\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eVGH10F-66-DC24S-NW\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eNot Required\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e25 or less (2 switches 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PISCO part numbers encode color, contacts, LED voltage, terminal type and options, so please check every character against your existing part or drawing. Contact us if you need help identifying a replacement.\u003c\/p\u003e\u003ch3\u003eAbout PISCO\u003c\/h3\u003e\u003cp\u003ePISCO (Nihon Pisco) is a Japanese manufacturer of pneumatic components, including push-to-connect fittings, tubing, speed controllers, vacuum pads and ejectors used in factory automation worldwide.\u003c\/p\u003e\u003ch3\u003eOrdering \u0026amp; Shipping\u003c\/h3\u003e\u003cul\u003e\n\u003cli\u003eGenuine PISCO product sourced through Korean distribution\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003eLead time varies by model; most items ship within 2-3 weeks\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003eShips worldwide from South Korea by FedEx International Priority Express\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003eImport duties and taxes are payable by the recipient\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003eBulk and trade pricing available on 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